中微公司：新式 Mini LED 出产设备订单超 100 腔

  IT之家 12 月 9 日音讯，今日中微公司宣告，旗下的 Prismo UniMaxMOCVD 设备订单超 100 腔，迎来新的里程碑。MOCVD 意为一种新式气相外延成长技能，能够在衬底上生成金属有机物的化学气相沉积。

  中微公司的 Prismo UniMaxMOCVD 设备于本年 6 月发布，大多数都用在氮化镓基 Mini LED 外延片的量产，制品可用来制作电视、笔记本、平板电脑等显示屏。

  Prismo UniMaxMOCVD设备专为高性能 Mini LED 量产而规划，经过立异的多区温度调理体系，能准确操控托盘部分区域温度，有助于更大程度上进步 LED 波长均匀性。此外，优化的喷淋头规划完成了更好的均匀性和产出稳定性，新一代直流电源逐渐进步了电能转化功率。

  这款设备装备 785mm 大直径石墨托盘，经过石墨托盘的不同规划，最多能够一起加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，能进步产能并大大下降 Mini LED 出产所带来的本钱。Prismo UniMax® 在同一体系中可装备多达 4 个反响腔，每个反响腔都能够独立操控。

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