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【48812】江丰电子请求一种拼接靶材的制备办法及制得的拼接靶材与用处专利所得可以到达焊接结合率≥97%焊接后平面度<1mm的作用。
来源:乐鱼平台地址入口 发布时间:2024-07-05 13:19:59
金融界2024年7月2日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,宁波江丰电子资料股份有限公司请求一项名为“一种拼接靶材的制备办法及制得的拼接靶材与用处”,公开号CN2.8,请求日期为2024年4月。
专利摘要显现,本发明供给了一种拼接靶材的制备办法及制得的拼接靶材与用处,所述制备办法经过钎焊的办法将靶坯在背板上构成拼接靶材;当所述靶坯的滋润面扣合于所述背板的滋润面上时,经过在相邻两个靶坯之间设置距离片,来操控靶坯之间的空隙巨细,此刻能依照拼接结构调整靶坯的方位,在冷却后,可以取出所述距离片,然后得到空隙得到必定作用操控的拼接靶材。所述制备办法十分适合于碳化硅拼接靶材的制作,所得拼接靶材可以到达焊接结合率≥97%,焊接后平面度<1mm的作用,且外表及拼接缝无焊料残留,磁控溅射应用时进程安稳,有用提高拼接靶材的出产功率及质量。
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